中空旋转平台的内部结构有哪些

1、中空旋转平台 C凸轮分割器 D电动转台 11设计一个丝杆直线模组，常用的丝杆固定方式为下列哪一种。

2、结构设计题共24分，每题4分1选定电机类型丝杆大小轴承座导轨电机大小联轴器2旋转气缸中空旋转平台齿轮齿条；Chuck带动晶圆旋转，完成甩胶挥发溶剂过程动态旋涂是晶圆 涂胶型结构主要由中空主轴组件COT胶臂组件EBR手臂组件；考虑中空玻璃合片时，玻璃四周的间隔条结构胶等对立面通透性 不产生较大的相对位移玻璃面板下端支撑在钢制转接件平台上；与内转子结构的AC伺服不同马达内部的磁极数也比较多，产生 马达中空独特设计不但减少了自身惯量，也给客户提供了更便捷的。

3、旋转基座同样是不锈钢打造，从底部与本体密封住Terminator T1内部复杂的技术精华，在与中心的结构之间还隔着一片铁氟龙垫片。

4、中空旋转平台 C凸轮分割器 D电动转台 2设计一个丝杆直线模组，常用的丝杆固定方式为下列哪一种 A 固定+固定 B固定+自；骨腔多中空无髓，并充空气骨骼多有愈合现象，以增加坚固性并 尽管在外形和功能上有很大的差异，但其内部构造却基本一致。