1、中空旋转平台C凸轮分割器D电动转台11设计一个丝杆直线模组，常用的丝杆固定方式为下列哪一种。2、结构设计题共24分，每题4分1选定电机类型丝杆大小轴承座导轨电机大小联轴器2旋转气缸中空旋转平台齿轮齿条；Chuck带动晶圆旋转，完成甩胶挥发溶剂过程动态旋涂是晶圆涂胶型结构主要由中空主轴组件COT胶臂组件E...